製品情報
オフライン（X線観察装置）
◆コンパクトな小型X線装置でありながら幾何学倍率900倍を達成
◆良品画像を登録しておいて現画像と比較観察が可能
◆フラットパネルが60°傾斜して観察可能
◆斜めからの観察には観察位置を自動追従（カメラ傾斜してもポイントがずれない）
◆各種測定機能付き
◆オプションで検査機能追加可能
◆オプションでCT機能とLサイズ対応可能
◆ターゲット～試料0.5mm、ターゲット～X線カメラ450mm:450/0.5=900、幾何学倍率900倍を達成
◆Lサイズ装置は、600×600mmの基板に対応
◆良品画像を登録しておいて現画像と比較観察が可能
◆フラットパネルが60°傾斜して観察可能
◆斜めからの観察には観察位置を自動追従（カメラ傾斜してもポイントがずれない）
◆各種測定機能付き
◆オプションで検査機能追加可能
◆オプションでCT機能とLサイズ対応可能
◆ターゲット～試料0.5mm、ターゲット～X線カメラ450mm:450/0.5=900、幾何学倍率900倍を達成
◆Lサイズ装置は、600×600mmの基板に対応
| 型式 | FX-300tR | FX-300tRL |
|---|---|---|
| X線管種類 | マイクロフォーカス、密閉型、透過式ターゲット | |
| X線管電圧 | 20～90kV | |
| X線管焦点径 | 5μ | |
| X線管受像部 | 110万画素フラットパネル | |
| ワーク寸法 | 330×250mm | 600×600mm |
| X線カメラ軸傾斜角度(θ) | 0～60° | |
| マニープレータ回転角度(θ) | 360°CW、CCW | |
| 観察ポイント自動追従機能 | カメラ傾斜しても観察ポイントを自動追従可能 | |
| モニタ | 20インチLCD | |
| 供給電源 | 単相 AC100V 1.5KVA | |
| X線漏洩線量 | 1μSv/h 以下 | |
| 装置寸法 | 1000(W)×880(D)×1350(H)mm | 1320(W)×1255(D)×1280(H)mm |
| 装置重量 | 600Kg | 800Kg |
| オプション | マニプレータ、回転テーブル、パソコンデスク、垂直CT機能 | |
