X線検査装置・非破壊検査機器ならアイビット

◆ウェーハ上のバンプを自動で検査、判定を行うX線自動検査装置
◆ウェーハ内部のボイド（気泡）をXを用いて透過し、その透過画像からボイドの直径（面積）を求め、基準値以上の
　ボイドについての良否を自動判定検査します。
◆X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には最新鋭のデジタルカメラを採用することで、高解像度の
　画像を抽出でき、高精度ボイド検査が可能となる。