X線検査装置・非破壊検査機器ならアイビット

◆本装置はX線を用いてシリコンウェーハ内の結晶欠陥であるボイドを自動で検出します。
◆赤外線による同様な検査の手法もありますが、低い抵抗値のウェーハなどは検査が厳しい、または研磨した最終工程の
　ポリッシュウェーハでないと制度の良い検査ができないほどの条件がありました。X線による検査方式ではそのような
　諸条件が必要なく、研磨前の状態（スライス直後）であっても検査可能です。またウェーハの抵抗値に関係なく検査が可能
　になります。
◆検査対象のシリコンウェーハのサイズは12インチ、8インチとなります。（6インチはオプション）
◆安全性について
　①X線作業主任者などの特別な資格は必要ありません。
　②X線は完全に遮断されているため、安全に使用できます。