ダイボンダ機能搭載X線検査装置です。
ダイボンドの最中をX線を用いて観察する事が可能です。
ダイボンドの最中をX線を用いて観察する事が可能です。
概 要
■ダイボンダ機能搭載X線検査装置です。
■ダイボンドの最中をX線を用いて観察することが可能です。
□水素還元/窒素雰囲気 | □メインヒータ | □150kV、0.5mA、75W、焦点径5μX線管 |
□水素濃度可変 | □水冷・冷却ステージ | □受光部φ230mm口径X線イメージ・インテンシファイア |
□予熱ステージ | □コレットヒータ | □AVIファイル、BMPファイルで動作撮影 |
□水素ミックスチャ付属 | □コレット動作 | □全11稼働軸を自動プログラミング可能 |


