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ICワイヤーボンド/リードフレーム自動検査装置

アイビット

PRODUCT LFX-1000/2000

LFX-1000/2000 の特徴

  1. リードフレーム上のIC部品の内部状態をX線を用いて透視検査する装置
  2. 前段のローダ部にリードフレームの入ったマガジンをセットし、自動供給、検査、自動収納を全自動で行う
  3. ワイヤーボンディングの接続状況やダイアタッチ、異物混入などを自動で検査(Good/NG判定)
  4. マイクロフォーカスX線管と高感度X線フラットパネルにより、高解像度のX線画像を取得し、高精度な検査を可能とする
LFX-1000/2000 ICワイヤーボンド/リードフレーム自動検査装置
LFX-1000/2000
  • X線検査装置・非破壊検査装置LFX-1000/2000の特徴

    ICのワイヤーボンディングの自動検査画像

  • X線検査装置・非破壊検査装置LFX-1000/2000の特徴

仕様

  1. 検査方式

    2D-X線透過方式

  2. X線管種類

    マイクロフォーカスX線源(密閉型)

  3. ターゲット方式

    LFX-1000:反射型
    LFX-2000:透過型

  4. X線出力

    LFX-1000:30 - 90kV、100μA
    LFX-2000:30 - 110kV、200μA

  5. 検査サイズ

    50×100~150×200mm

  6. 部品高さ

    基板上5mm、基板下5mm

  7. ワーク搬送幅

    3mm

  8. ワーク厚さ

    0.5~1.0mm

  9. X線受像部

    130万画素、 長寿命型X線フラットパネル

  10. 表示部

    24インチLCD

  11. エアー供給

    0.45MPa、 50L/min

  12. 制御OS

    Microsoft Windows10 Enterprise

  13. 電源

    単相AC200~240V, 1.5kVA

  14. 装置寸法/重量

    LFX-1000:
    本体:900(W)×1,000(D)×1,500(H)mm / 800kg

    LFX-2000:
    本体:900(W)×1,000(D)×1,500(H)mm / 900kg

    共通:
    ローダ部 610(W)×910(D)×1,500(H)mm / 300kg(オプション)
    アンローダ部 910(W)×910(D)×1,500(H)mm / 400kg(オプション)

  15. X線外部線量

    1μSv/h以下

検査項目

ICのワイヤーボンディングの自動検査

LED検査