TOP

大型基板対応 X線ステレオ方式®︎3次元X線観察装置

最大700×600mm基板対応 大型基板でもX線ステレオ方式

アイビット

PRODUCT FX-300tRX2-LL
FX-400/500tRX-LL

FX-300tRX2-LL FX-400/500tRX-LL の特徴

  1. 実装基板の裏面をキャンセルし、実装基板の上から下まで を300層にスライス
  2. 2D透過、斜め60度観察:700×600mm
  3. 3D X線ステレオCT観察:600×600mm
  4. 幾何学倍率:最低1.4倍~最大1000倍(FX-300tRX-LL)
  5. 選べるX線出力:90kV、110kV、130kV
  6. 高解像度(JIMAチャート確認):2um(FX-400tRX-LL)
  7. 3D X線V-CT対応(垂直CT)
  8. 3D X線P-CT対応(ななめCT)
  9. スルーホールはんだ充填率測定
FX-300tRX2-LL FX-400/500tRX-LL X線ステレオ方式®︎3次元X線検査装置
FX-300tRX2-LL FX-400/500tRX-LL
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    使いやすい両開きスライドドアは、片方を開けると、もう一方も自動開閉します。 また、JOYスティックも標準装備。

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    1.4倍から1,000倍まで幅広い撮影倍率

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    新機能:スルーホール充填率測定

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    2016年 ボイド計測機能強化

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    2017年 MAP撮影機能追加

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    2020年 ステレオCT機能に縦断面追加

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    2022年 HDR機能追加

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    FX-400tRX-LLの大開口ドア ※FX-300/400/500tRXLLの外観は同じです
    片方を引くと両開きになります。

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    使いやすい JOYスティック操作 ※FX-300/400/500tRXLLの外観は同じです

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

    FX-400tRX-LLの装置内部 ※FX-300/400/500tRXLLの基板仕様は同じです
    2D観察できる範囲は700×600mmの全面を観察可能。

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tRX<sub>2</sub>-LL
FX-400/500tRX-LLの特徴

仕様

  1. X線管種類

    マイクロフォーカス密閉型X線管

  2. X線ターゲット位置

    FX-300tRX2-LL , FX-400tRX-LL:
    透過式ターゲット(開放型X線管と同じ)

    FX-300tRX2-LL , FX-400tRX-LL:
    透過式ターゲット(開放型X線管と同じ)

    FX-500tRX-LL:
    反射型ターゲット

  3. X線管電圧

    FX-300tRX2-LL:30 - 90kV
    FX-400tRX-LL:40 - 110kV
    FX-500tRX-LL:40 - 130kV

  4. X線管電流

    FX-300tRX2-LL:0 - 60μA
    FX-400tRX-LL:0 - 200μA
    FX-500tRX-LL:0 - 300μA

  5. 最小X線焦点径

    FX-300tRX2-LL:5μm
    FX-400tRX-LL:2μm
    FX-500tRX-LL:10μm

  6. ターゲット回転機構

    FX-300tRX2-LL:500h毎に回転
    FX-400tRX-LL:300h毎に回転
    FX-500tRX-LL:なし

  7. 検査トレイサイズ

    700×600mm

  8. 検査領域(2D、含む60°傾斜)

    700×600mm

  9. 検査領域(ステレオ方式、ステレオCT)

    600×600mm

  10. X線カメラ上下軸ストローク

    Z1軸:500mm

  11. X線管上下軸ストローク

    Z2軸:140mm

  12. X線カメラ傾斜ストローク

    0~60°、1°単位でプログラミング可能

  13. 幾何学倍率

    FX-300tRX2-LL:
    幾何学倍率:1,000倍
    X線源-サンプル距離(最小):0.5mm
    X線源-X線受像部(最大):500mm
    500/0.5=1,000倍

    FX-400tRX-LL:
    幾何学倍率:500倍
    X線源-サンプル距離(最小):1.0mm
    X線源-X線受像部(最大):500mm
    500/1.0=500倍

    FX-500tRX-LL:
    幾何学倍率:42倍
    X線源-サンプル距離(最小):12.0mm
    X線源-X線受像部(最大):500mm
    500/12=42倍

  14. モニター表示倍率

    FX-300tRX2-LL:
    幾何学倍率:6,000倍
    X線受光部サイズ:50×50mm
    X線画像表示パネルサイズ:300×300mm
    画像表示寸法/X線受光部寸法=300/50=6倍
    幾何学倍率×表示拡大率=1,000×6=6,000倍

    FX-400tRX-LL:
    幾何学倍率:3,000倍
    X線受光部サイズ:50×50mm
    X線画像表示パネルサイズ:300×300mm
    画像表示寸法/X線受光部寸法=300/50=6倍
    幾何学倍率×表示拡大率=500×6=3,000倍

    FX-500tRX-LL:
    "幾何学倍率:252倍
    X線受光部サイズ:50×50mm
    X線画像表示パネルサイズ:300×300mm
    画像表示寸法/X線受光部寸法=300/50=6倍
    幾何学倍率×表示拡大率=42×6=252倍"

  15. X線受光部

    130万画素X線フラットパネル

  16. X線画像分解能

    1180×1100pixel、14bit(16,384階調)

  17. 装置内ワーク撮影カメラ

    カラーカメラ内蔵

  18. 表示ディスプレイ

    24インチLCD(1920×1200pixel)

  19. エアー供給

  20. 電源

    単相AC200 ~ 230V、 1.5kVA

  21. 装置寸法

    1,930(W)×1,680(D)×1,830(H)mm

  22. 装置重量

    1,950kg

  23. オプション

    ステレオCT、V-CT(垂直方向)、P-CT(ななめ方向)、マニプレータ、ターンテーブル、自動検査、リペアステーション(QRトレサビリティ対応)

  24. X線漏洩線量

    1μSv/h以下、X線作業主任者の資格は不要です(国外では設置国の法令に従ってください)

検査項目

BGAのクラック観察

BGAのはんだ未接続部の観察

LGAの接合不良

プリント配線板の不良

実装基板のスルーホールX線観察

スルーホールのX線観察

パワーデバイス検査用X線装置

ICワイヤーボンディングの観察

生基板検査の詳細事例集

BGA検査・実装基板検査

大型基板700×600mmの検査

基板の内装パターン