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01
生基板検査用Ｘ線装置／FX-300tRではＸ線管を密着させてカメラを傾斜させての撮影が可能
開放型Ｘ線と同じ透過式ターゲット採用
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02
30層基板のＸ線撮影
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03
Ｘ線による基板内部の観察（1）
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04
Ｘ線による基板内部の観察（2）
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05
Ｘ線による基板内部の観察（3）
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06
Ｘ線による基板内部の観察（4）
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07
Ｘ線による基板内部の観察（5）
生基板検査
