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アイビットのX線検査装置の倍率

アイビットのX線検査装置の倍率が高い理由や、実際の解像度について解説

アイビット

REASON幾何学倍率
1,000倍を達成

従来型(FX-300tR)の高倍率が
さらに向上しました。

低倍率では1.4倍から高倍率1,000倍までシームレスに変更が可能なため、φ40×40mmのBGAパッケージを一視野で観察することもできます。
はんだボール1個(φ0.5)を画面いっぱいで観察することも可能です。

従来型(FX-300tR)の高倍率がさらに向上しました。

コンパクトな装置でありながら
拡大率1000倍を達成

この先、電子部品が大きくなるという流れはなく、さらに小さくなりそこに発生する不良個所もさらに小さいものとなります。それらの事例を観察し、且つ10年間程度の償却期間を考えると、導入の時点から1,000倍の倍率が必要です。

コンパクトな装置でありながら拡大率1000倍を達成

REASON統一規格を持たない
X線装置の倍率表記

X線装置のカタログを見ると20倍~10,000倍の表記があります。
各装置メーカーによって計算式の分母が異なったり、計算方法がまったく異なっているものが混在しています。 統一規格がないので各装置メーカーごとの見解の表記となっているのです。 よって、カタログ表記の倍率での比較は比較になりません。 実際に撮影すると、7200倍表記の装置と、当社製FX-400tRX(幾何学倍率500倍)の表記の装置の倍率が変わらない事例があります。

X線は投影法で拡大撮影ができる
X線画像は「影絵」である

統一規格を持たないX線装置の倍率表記

投影される場所が遠くなれば拡大される

REASONアイビットの
「X線検査装置」の倍率が高い理由

X線管の構造が透過型ターゲット方式となりますので高倍率となります。 従来は高価格の開放型X線管のみの方式でしたが、廉価な密閉管X線管で同方式を実現できました。
アイビットでは2008年発売のFX-300tRより、この透過型ターゲット方式を採用しています。

透過型ターゲット

FX-300tR,tRX2/400tRXの倍率が高い理由は、X線の発生部がX線管の表面にあるため。

透過型ターゲット

試料はX線に近く、投影される場所が遠くなれば大きく拡大される。

反射型ターゲット

従来方式のX線管の発生部は、X線管の発生部がX線管の中に深く入っているため、倍率が上げられない。

反射型ターゲット

X線の拡大観察は点光源からの広がりを利用

X線は「点光源」であり、放射状に広がる。この広がりが倍率になる。

X線の拡大観察は点光源からの広がりを利用

X線の拡大率を上げるためには

観察点のdが撮像位置では1,000dに拡大投影される。

X線の拡大率を上げるためには

REASONX線装置の
実際の解像度

客観的に測定できる「日本検査機器工業会」の「テストチャート」で測定

実解像度5μmを観察可能です。

客観的に測定できる「日本検査機器工業会」の「テストチャート」で測定

テストチャートで客観的に解像度比較

他社の装置のカタログでは「空間分解能=5μm」と記述があります。しかし、その実態はどうでしょうか。

テストチャートで客観的に解像度比較

管電圧90kV、解像度5μmの2台のX線装置を比較

どちらもカタログスペックの解像度は5μmです。カタログ数値の解像度は同じでも実画像の解像度は異なる場合があります。

管電圧90kV、解像度5μmの2台のX線装置を比較

COMPARISON OF X-RAY IMAGESアイビットと他社のX線画像の比較

アイビット方式

FX-300tRシリーズのX線カメラ60傾斜観察画像。

アイビット方式

他社事例1:X線管を傾斜させて撮影

X線管とカメラを60度傾斜した場合、倍率は下がります。そのためカタログ上幾何学倍率35倍が、実質倍率7-8倍での使用となってしまいます。

他社事例1:X線管を傾斜させて撮影

他社事例2:基板を傾斜させて撮影

大きい基板を傾斜させると倍率はさらに低下します。カタログ上幾何学倍率35倍が、実質倍率2-3倍での使用となってしまいます。

他社事例2:基板を傾斜させて撮影

ABOUT MAGNIFICATION AND PRICEX線装置の倍率と価格について

管電圧90kV、解像度5μmの2台のX線装置を比較

どちらもカタログスペックの解像度は5μmです。

管電圧90kV、解像度5μmの2台のX線装置を比較

他社密閉型X線、開放型X線管との比較

FX-300tRX2のX線画像は開放型X線管5000万円クラスと同等、もしくはそれ以上のX線画像品質です。

他社密閉型X線、開放型X線管との比較