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X線観察装置

コンパクトながら、幾何学倍率900倍を達成。リール観察機能を備えた派生モデルもラインナップ

アイビット

PRODUCT FX-300tR2/FX-300tRL2リールtoリール観察機能

FX-300tR2 の特徴

  1. 幾何学倍率:900倍
  2. モニター倍率:5,400倍
  3. X線出力:90kV
  4. X線焦点径:5μ、15μ(切替)
FX-300tR2/FX-300tR2リールtoリール観察機能 X線観察装置
FX-300tR2
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tR<sub>2</sub>/FX-300tRL<sub>2</sub>リールtoリール観察機能の特徴

    高倍率で観察したBGAクラック

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tR<sub>2</sub>/FX-300tRL<sub>2</sub>リールtoリール観察機能の特徴

    BGA未接続部分とFX-300tRのX線画像

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tR<sub>2</sub>/FX-300tRL<sub>2</sub>リールtoリール観察機能の特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-300tR<sub>2</sub>/FX-300tRL<sub>2</sub>リールtoリール観察機能の特徴

仕様

  1. X線管種類

    マイクロフォーカス、 密閉型、 透過式ターゲット

  2. X線管電圧

    30 - 90kV

  3. X線管電流

    0 - 60μA

  4. X線焦点径

    5μm、 10~15μm(切替)

  5. 幾何学倍率

    幾何学倍率:900倍
    FOD:X線源-サンプル距離(最小)=0.5mm
    FID:X線源-受光部距離(最大)=450mm、 450/0.5=900倍

  6. モニター表示倍率

    モニター表示倍率:5,400倍
    X線受光部センサ寸法:50×50mm 24インチモニター表示部寸法:300×300mm
    モニターによる拡大率:300/50=6倍
    幾何学倍率×表示拡大率=900×6=5,400倍

  7. X線受像部

    130万画素フラットパネル、 14bit(16,384階調)

  8. 検査トレイサイズ

    FX-300tR2:330×250mm

  9. 検査領域

    FX-300tR2:330×250mm

  10. X線カメラ軸ストローク(Z1)

    450mm

  11. X線管ストローク(Z2)

    140mm

  12. X線カメラ軸傾斜角度(Q)

    0° (垂直)~60°傾斜

  13. モニター

    24インチLCD(1,920×1,200画素)

  14. 供給電源

    単相AC200~230V、 1.5kVA

  15. 装置寸法

    FX-300tR2:
    1,000(W)×880(D)×1,350(H)mm

  16. 装置重量

    FX-300tR2:600kg

  17. オプション

    マニプレータ、 回転テーブル、 パソコンデスク、 垂直CT機能

  18. X線漏洩線量

    1μSv/h以下、 X線取扱資格は不要(国外では設置国の法令に従ってください)

検査項目

BGAのクラック観察

BGAのはんだ未接続部の観察

ICのワイヤーボンディングの観察

プリント配線板の不良

実装基板のスルーホールX線観察

スルーホールのX線観察

ICワイヤーボンディングの観察

BGA検査・実装基板検査

LGAのはんだ接続

基板内層パターン

FX-300tR2リールtoリール観察機能の特徴

  1. 幾何学倍率:900倍
  2. モニター倍率:5,400倍
  3. X線出力:90kV
  4. X線画像解像度:5μm(JIMAチャート確認)
  5. X線カメラ:0〜60°傾斜(1度単位)
  6. 検査トレイに試料を並べての検査、リールtoリールでの検査の両方に対応可能
300tR2リールtoリール観察機能
FX-300tR2リールtoリール観察機能
  • リールtoリール観察機能を付加(オプション)

    リール観察機能を付加(オプション)

  • 8mm幅、φ180mmリール検査から

    8mm幅、φ180mmリール検査から

  • 56mm幅、φ470mmリールまで

    56mm幅、φ470mmリールまで

  • ユニット載せ替えで、テープ検査

    ユニット載せ替えで、テープ検査

  • JEDICトレイで検査

    JEDICトレイで検査

  • リール観察機能を付加(オプション)
  • 8mm幅、φ180mmリール検査から
  • 56mm幅、φ470mmリールまで
  • ユニット載せ替えで、テープ検査
  • JEDICトレイで検査

リール仕様

  1. テープ幅

    8、12、16、24、32、44、56mm

  2. リール径

    180〜470mm

検査項目

BGAのクラック観察

BGAのはんだ未接続部の観察

ICのワイヤーボンディングの観察

プリント配線板の不良

実装基板のスルーホールX線観察

スルーホールのX線観察

ICワイヤーボンディングの観察

BGA検査・実装基板検査

LGAのはんだ接続

基板内層パターン

リール巻き取り検査

テーブル仕様

  1. 検査トレイサイズ

    400×350mm

  2. 幾何学倍率

    1.4倍〜900倍