TOP

X線観察装置

X線焦点寸法0.25μmの高解像度を持った解析用X線観察装置

アイビット

PRODUCT IX-1610

IX-1610 の特徴

  1. 幾何学倍率:2,000倍
  2. X線焦点径:0.25μm
  3. Lab6フィラメント使用時はX線照射時間1,000hの長寿命を達成
  4. 世界最高クラスのX線解像度を持った不良解析機能付きX線観察装置
  5. 160kV、0.2mA、0.25μm開放型マイクロフォーカスX線管採用、世界最小クラスのX線焦点寸法(0.25μm)
  6. X線幾何学倍率:2,000倍
  7. 透過型ターゲットを採用
  8. 130万画素X線フラットパネル
  9. 6軸制御により高機能観察、自動検査が可能
  10. 360°回転ターンテーブル付、サンプル位置自動修正
  11. カメラ60°傾斜機能付き、サンプル位置自動修正
  12. 自動検査機能、ボイド検査、ブリッジ検査など
  13. PC内蔵、24インチLCD、キーボード付属
  14. 12インチシリコンウェーハ対応
IX-1610 X線検査装置
IX-1610
  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴

    使いやすい両開きスライドドアは、片方を開けると、もう一方も自動開閉します。 また、JOYスティックも標準装備。

  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴

    基板のスルーホールのクラック検査

  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴

    JIMAチャート 0.25μm

  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴

    ワイヤーボンディング(金線)

  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴

    バンプ直径=30μm / ボイド直径=2μm

  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴

    ワイヤーボンディング(2nd)

  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴

    スルーホール

  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置IX-1610の特徴

仕様

  1. X線管種類

    マイクロフォーカス開放管

  2. X線ターゲット位置

    透過型ターゲット Beターゲット(標準)/ダイヤモンドターゲット(オプション)

  3. X線管電圧、管電流

    Wカソードフィラメント使用:30 - 160kV、200μA(標準)/Lab6カソードフィラメント使用:30 - 100kV、200μA(オプション)

  4. X線出力

    Wカソードフィラメント使用:16W(標準)/Lab6カソードフィラメント使用:10W(オプション)

  5. X線焦点径

    Wカソードフィラメント使用:0.4μm~(標準)/Lab6カソードフィラメント使用:0.25μm~(オプション)

  6. 検査トレイサイズ

    φ470mmの内接四角形(330×250mm)もしくはφ470mmターンテーブル(オプション)

  7. X-Y軸ストローク

    X軸:470mm、 Y軸:470mm

  8. Z1軸ストローク

    Z1(X線カメラ上下):150~600mm

  9. Z2軸ストローク

    Z2(X線管上下):0~50mm

  10. Q軸ストローク(カメラ傾斜)

    Q軸(X線カメラ傾斜):0~60°

  11. 最大幾何学倍率(理論値) ※ターゲット素材の厚さによって異なる

    ベリリウムターゲット使用:1200倍(標準)
    ベリリウムターゲット厚さ-サンプル距離(最小)=0.5mm X線源-受光部距離=600mm、600/0.5=1200倍
    ダイヤモンドターゲット使用:2000倍(オプション)
    ダイヤモンドターゲット厚さ-サンプル距離(最小)=0.3mm
    X線源-受光部距離=600mm、600/0.3=2000倍

  12. X線画像分解能

    130万画素X線フラットパネル、 1180×1100pixel、 14bit(16,384階調)

  13. CCDカメラ部種類

    カラーCCDカメラ(ワーク撮影用)

  14. 表示ディスプレイ

    24インチLCD

  15. 別置き真空ポンプ

    単相AC100V、 0.5kVA

  16. X線本体電源

    単相AC200V、 1.5kVA

  17. 装置寸法

    1,500(W)×1,005(D)×1,850(H)mm

  18. 装置重量

    1,200kg

  19. X線漏洩線量

    1μSv/h以下、 X線取扱資格は不要

検査項目

BGAのクラック観察

BGAのはんだ未接続部の観察

ICのワイヤーボンディングの観察

プリント配線板の不良

実装基板のスルーホールX線観察

スルーホールのX線観察

ICワイヤーボンディングの観察

コンデンサ部品検査

BGA検査・実装基板検査

基板内装パターンの検査

OPTION

OPTION 01
ボタン1つで自動ドア開閉

ボタン1つで自動ドア開閉

OPTION 02
新開発ダイヤモンドターゲット

水冷クーリングヘッドによる安定した出力を実現。

新開発ダイヤモンドターゲット