仕様

1. Ｘ線管種類

   マイクロフォーカス開放管

2. Ｘ線ターゲット位置

   透過型ターゲット　Beターゲット（標準）/ダイヤモンドターゲット（オプション）

3. Ｘ線管電圧、管電流

   Wカソードフィラメント使用：30 - 160kV、200μA（標準）/Lab6カソードフィラメント使用：30 - 100kV、200μA（オプション）

4. Ｘ線出力

   Wカソードフィラメント使用：16W（標準）/Lab6カソードフィラメント使用：10W（オプション）

5. Ｘ線焦点径

   Wカソードフィラメント使用：0.4μm～（標準）/Lab6カソードフィラメント使用：0.25μm～（オプション）

6. 検査トレイサイズ

   φ470mmの内接四角形（330×250mm）もしくはφ470mmターンテーブル（オプション）

7. X-Y軸ストローク

   X軸：470mm、 Y軸：470mm

8. Z1軸ストローク

   Z1（Ｘ線カメラ上下）：150～600mm

9. Z2軸ストローク

   Z2（Ｘ線管上下）：0～50mm

10. Q軸ストローク（カメラ傾斜）

    Q軸（Ｘ線カメラ傾斜）：0～60°

11. 最大幾何学倍率（理論値） ※ターゲット素材の厚さによって異なる

    ベリリウムターゲット使用：1200倍（標準）
    ベリリウムターゲット厚さ-サンプル距離（最小）=0.5mm　Ｘ線源-受光部距離＝600mm、600/0.5=1200倍
    ダイヤモンドターゲット使用：2000倍（オプション）
    ダイヤモンドターゲット厚さ-サンプル距離（最小）=0.3mm
    Ｘ線源-受光部距離＝600mm、600/0.3=2000倍

12. Ｘ線画像分解能

    130万画素Ｘ線フラットパネル、 1180×1100pixel、 14bit（16,384階調）

13. CCDカメラ部種類

    カラーCCDカメラ（ワーク撮影用）

14. 表示ディスプレイ

    24インチLCD

15. 別置き真空ポンプ

    単相AC100V、 0.5kVA

16. Ｘ線本体電源

    単相AC200V、 1.5kVA

17. 装置寸法

    1,500（W）×1,005(D）×1,850（H）mm

18. 装置重量

    1,200kg

19. Ｘ線漏洩線量

    1μSv/h以下、 Ｘ線取扱資格は不要