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3D-X線ステレオ方式® X線観察装置

高出力130kVのX線源により20層以上の多層基板やバワーデバイス検査に最適

アイビット

PRODUCT FX-500tRX

FX-500tRX の特徴

  1. パワーデバイスのバスバー下部、パワーチップ下部、絶縁基板の下部のはんだ部を個別に検査することが可能
  2. 130kV,300μAの高出力X線源で銅板5mmも透過可能
  3. 超寿命130万画素X線フラットパネルによりランニングコストが大幅に低減
  4. X線ステレオ方式®によって実装基板の表面、裏面の分離(約4秒)
  5. X線ステレオCT方式®によって実装基板の水平断面300層取得(約50秒)
  6. CT機能を用いた自動検査(OK/NG判定)
  7. 2次元コードを用いてのトレーサビリティ対応
FX-500tRX 3D-X線ステレオ方式® X線検査装置
FX-500tRX
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-500tRXの特徴

    コネクタの3D-VCTボリュームレンダリング画像

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-500tRXの特徴

    リチウムイオン電池の3D-VCTボリュームレンダリング画像

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-500tRXの特徴

    330×250mmの検査エリアを死角なく300層のスライス断面で検査可能

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-500tRXの特徴

    330×250mmの検査エリアを死角なく300層のスライス断面で検査可能

  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-500tRXの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-500tRXの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-500tRXの特徴
  • X線検査装置・非破壊検査装置FX-500tRXの特徴

仕様

  1. X線管種類

    マイクロフォーカス密閉源(密閉型)

  2. X線ターゲット位置

    反射型ターゲット

  3. X線管電圧、管電流

    40 - 130kV、 300μA

  4. 最小X線焦点径

    10μm

  5. 検査トレイサイズ

    330×250mm

  6. 検査領域(ステレオ方式、ステレオCT方式の領域も同じ)

    330×250mm

  7. Z1軸ストローク

    Z1(X線カメラ上下):60~500mm

  8. Z2軸ストローク

    Z2(X線管上下):0~110mm

  9. Q軸ストローク

    Q軸(X線カメラ傾斜):0~60°

  10. 幾何学倍率

    幾何学倍率:42倍
    FOD:X線源-サンプル距離(最小)=12mm
    FID:X線源-受光部距離(最大)=500mm、 500/12=42倍

  11. モニター表示倍率 ※他社密閉管の表示倍率と  同等に記述した場合

    モニター表示倍率:252倍
    X線受光部センサ寸法=50×50mm 24インチモニター表示エリア寸法=300×300mm
    画像表示寸法/X線受光部=300/50=6倍
    幾何学倍率×表示拡大率=42×6=252倍

  12. X線画像分解能

    130万画素X線フラットパネル、 1180×1100pixel、 14bit(16,384階調)

  13. CCDカメラ部種類

    カラーCCDカメラ(ワーク撮影用)

  14. 表示ディスプレイ

    24インチLCD(1920×1200pixel)

  15. エアー供給

  16. 電源

    単相AC200~230V、 1.5kVA

  17. 装置寸法

    1,300(W)×1,150(D)×1,480(H)mm

  18. 装置重量

    1,300kg

  19. オプション

    ステレオCT、V-CT(垂直方向)、P-CT(ななめ方向)、マニプレータ、ターンテーブル、
    自動検査、リペアステーション(QRトレサビリティ対応)

  20. X線漏洩線量

    1μSv/h以下、 X線取扱資格は不要(国外では設置国の法令に従ってください)

検査項目

パワーデバイス検査用X線装置

電池検査・リチウム電池検査

BGAのはんだ検査