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Ｘ線ウェーハバンプ自動検査装置

アイビット

PRODUCT Six-3000

Six-3000 の特徴

ウェーハ上のマイクロバンプの内部状態をＸ線を用いて透視検査する装置
バンプ内のボイド（気泡）の有無を検査し、ボイドの寸法を自動計測し許容値を超えるボイドを有する場合はNG判定を行う
FOUPから自動で取り出し、Ｘ線装置への自動供給、自動検査、自動収納を全自動で行う。登録レシピで自動検査が可能
焦点径0.25μｍのナノフォーカスＸ線管を採用、Ｘ線カメラは高解像度4MB（16bit）を採用、空間分解能0.25μｍを達成
検査可能バンプサイズ： φ10μｍ以上
検査可能ボイドサイズ：バンプ高さによる（バンプ高さ20μｍの場合、φ2μｍ以上）

Six-3000　Ｘ線ウェーハバンプ自動検査装置

Six-3000

高速検査
2,000×2,000画素＝400万画素
大型Ｘ線フラットパネルを採用することで、高速検査が可能
（※オプションで4,000画素×4,000画素＝1,600万画素カメラもあります）
微小ウェーハバンプ検査
（φ30μmのバンプを自動検査）
ウェーハバンプのＸ線画像（ボイド画像）
0.25μmの空間分解能を達成
（左）φ30μmのバンプ内部にあるφ3μmのボイド
（右）3μmのボイド部の断面観察画像 ※電子顕微鏡画面

仕様

Ｘ線管種類

マイクロフォーカス密閉型Ｘ線源（水冷式）
Ｘ線受像部

1,600万画素高解像度フラットパネル
対応ウェーハ寸法

12インチ
真空

−56kPa 20N/min 接続口径⌀4（ワンタッチ継ぎ手）
圧縮エアー供給

供給圧力 0.5Mpa以上　接口径⌀8続（ワンタッチ継ぎ手）
供給電源

3相　AC200V、6KVA
装置寸法

2,210（W） × 1,500（D） × 1,770（H）mm
装置重量

2,000kg
Ｘ線漏洩線量

1μSv/h以下、Ｘ線取扱資格は不要

検査項目

バンプ直径測定

ボイド測定

バンプ高さ測定

バンプ形状検査

ウエーハバンプの自動観察

CASE 本製品対応事例

ウエーハバンプの自動観察

PRODUCT LISTＸ線検査装置
製品一覧